レビュー装置 RV-3000 Review System "RV-3000"

半導体レビュー装置RV-3000

外観検査の生産性向上のためレビュー機能を独立

＜概要＞

外観検査装置のレビュー時間削減し、検査の効率UPに貢献します。
本装置は、外観検査装置で検出した欠陥のアドレス情報から、高倍率で欠陥画像を取得し、分類までを行います。

＜特長＞

  • 高精細画像の高速取得を実現
  • ADCシステムとの接続による欠陥部類
  • 解析データの取得・歩留まり向上の効率化に貢献
  • ダイシング後チップのレビューに対応

＜ラインナップ＞

RV-3000　クリーンクラス100
RV-7000　クリーンクラス1

＜仕様＞

本装置は、外観検査装置の検査結果を読み込んで、指定された倍率でのカラー画像（欠陥画像とリファレンス画像）を全自動で撮像する装置です。

対物レンズ
Objective Lens		 1x, 2x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x, 150x
5個まで選択可　Up to 5 types are available
対象ワーク
Sample		 8,12インチウェーハ / 8, 12 inch Wafer
8,12インチダイシングリング / 8, 12 inch Dicing Ring
照明
Lighting		 同軸／斜光
Bright field /Dark field
画像保存時間
Capture rate		 1.2秒以下/欠陥（ADC用リファレンス画像保存含む）
Less than 1.2 sec / defect (including ADC Reference Picture saving time)
特長
Features		 欠陥モードに応じて任意の撮影条件の設定が可能
検査装置からチップ位置データを読み込むことでダイシングチップに対してもアライメントレスの高速撮影

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