光学式半導体ウェーハ外観検査装置
INSPECTRA®シリーズ Wafer Inspection System "INSPECTRA®" Series

＜概要＞

業界最高速
半導体製造の前工程から後工程まで『ハイスピード』『ハイスペック』でウェーハの全数自動検査の要求にお応えします。
INSPECTRA®シリーズは、高速・高感度で全数検査を実現可能としたウェーハ外観検査装置です。
当社独自の「良品学習アルゴリズム（DSI比較法）」により、プロセスの変動要因を吸収し、擬似欠陥の発生を抑え、ターゲットとする欠陥のみを検出することが可能です。

＜ラインナップ＞

SR-Ⅳシリーズは従来機種の機能性に加えて、検査性能の向上、装置信頼性とユーザビリティも改善させたハイグレードモデルです。
高倍率検査では従来品「INSPECTRA SR-Ⅲ」比で検査速度を約2倍実現させました。

高精度・高速検査を実現したSR-Ⅳ・SR-Ⅲシリーズ、ダイシング後ウェーハ検査が可能なFR-Ⅲシリーズなど、幅広いラインナップでお客さまのご要望に対応いたします。