製品案内

当社では半導体検査装置において「電子線式半導体ウェーハパターン検査装置」と「光学式半導体ウェーハ検査装置」の2つの事業領域の製品を扱っております。

電子線式半導体ウェーハパターン検査装置

電子線式半導体ウェーハパターン検査装置

Die to Databaseアルゴリズムをベースとし、広視野電子顕微鏡画像を利用することでパターン欠陥の高感度検査、パターン寸法の2次元多点計測を実現し、最先端半導体デバイス製造における歩留り向上に大きく貢献しています。

光学式半導体ウェーハ検査装置

光学式半導体ウェーハ検査装置

当社独自の「良品学習アルゴリズム(DSI比較法)」により、プロセスの変動要因を吸収し、擬似欠陥の発生を抑え、ターゲットとする欠陥のみを検出することが可能です。