電子線式半導体ウェーハパターン検査装置
NGR3500シリーズ Wafer Geometry Verification System NGR3500 Series

<概要>

半導体デバイスの高性能化、多機能化に伴い、多様な検査、計測を組み合わせて製造プロセスを管理していくことが必要となってきています。
NGR3500シリーズは、Die to Databaseアルゴリズムをベースとし、広視野電子顕微鏡画像を利用することでパターン欠陥の高感度検査、パターン寸法の2次元多点計測を高速に行い、半導体製造工場における劇的な歩留まり改善に貢献します。

<電子線式半導体ウェーハパターン検査装置NGR3500シリーズ 仕様>

製品名 装置特徴 仕様
NGR3520 NGR3520は、新たな電子光学系により解像度を向上すると共に、検査最小ピクセルサイズを1nmまで微小化し、10nm世代以降の最先端デバイスの検査・計測に対応する装置となっています。 ウェーハサイズ:Φ300mm(SEMI規格Vノッチウェーハ)
NGR3550 NGR3550は、電子ビームの選択範囲を広げることで、7nm世代以降の幅広いアプリケーションに対応可能な装置となっています。さらに、新たなスキャンシステムの採用により画像サイズを大きくすることで高スループット化も実現しています。 ウェーハサイズ:Φ300mm(SEMI規格Vノッチウェーハ)
NDAS
(NGR Data Analysis System)
NDASは、独自の統計解析アルゴリズムを搭載したデータ解析システムです。
NGR3500シリーズから出力される大量のデータ(数100万点~数1000万点)を取得し、これらのデータを統計解析することで半導体デバイス製造歩留り改善に寄与するデータを可視化することが可能となります。
1つのNDASサーバーに最大5ユーザーが同時アクセス可能
アプリケーション
(実績例)
Hot Spot 抽出/モニタリング
プロセスウィンドウ評価
OPC 最適化
CD Uniformity計測
CD分布解析
In-Chip Overlay計測
EPE計測
オプション ドライポンプ
磁場キャンセラー
除振台
NDASライセンス
パターン分類機能
パターン検索機能
FA対応

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