チップレット×ガラス基板

クロス技術で
次世代半導体パッケージを共創

ABOUT

大型ガラス基板(PLP)向け
―塗布・検査・実装―
次世代半導体パッケージ製造の
コアプロセスを提供します

東レエンジニアリングは、フリップチップボンダーの市場投入から四半世紀以上にわたって、
最先端の半導体パッケージ製造に必要な技術開発に取り組み続けてきました。

現在、生成AIの急激な進化に伴い、ハイパースケールデータセンターの設置が加速しています。
半導体パッケージに求められるのは一層の高性能化に加えて、生産力の強化です。
そのため世界の半導体メーカーは高効率製造が可能な大型ガラス基板(PLP)での製造にシフトし始めました。

私たちはこれまで培ってきた塗布、検査、実装技術を発展させることで、
先端半導体パッケージの製造効率を高める革新的なガラス基板向け技術を実用化。
各工程への高品質な技術の提供で、お客様と次世代半導体パッケージを共創します。

PRODUCTS

ハイエンド製品向けに
国内随一のソリューションを
提供します

東レエンジニアリングが有する高い技術力で、
最先端技術や製品を支えるハイエンド製品の製造を可能とします。

各工程ごとの対応技術

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異物検査装置 Glass panel inspection HS-930e
異物検査装置

Glass panel inspection
HS-930e

成膜前後の基板を高い空間分解能で検査、透明異物も検出します。光学設計と画像処理の組み合わせにより表裏同時検査を実現し、ハイスループットを実現します。

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高精度塗布乾燥装置 PLP Coater TC406T-S
高精度塗布乾燥装置

PLP Coater
TC406T-S

2.5次元パッケージの大型化に対応するため、液晶パネル向けに培ってきたコーティング技術にPLPでの基板反り対策技術を融合し、高精度・高密度・高効率な再配線層の形成を実現します。

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基板外観検査装置 AOI inspection INSPECTRA GR-X
基板外観検査装置

AOI inspection
INSPECTRA GR-X

大型ガラス基板の検査装置は、業界初となる両面検査と内部欠陥検査を実現しました。検査速度も速いため全数検査が可能、不良品の流出防止に貢献します。

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高精度実装装置 FC Bonder UC5000
高精度実装装置

FC Bonder
UC5000

四半世紀以上かけて培ってきたロジックチップの接合技術に、PLPでの高精度搭載技術を融合しました。PLP用基板にブリッジチップ、ロジックチップを高精度に実装します。

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