PLP（パネルレベルパッケージ）用異物検査装置 HS-930e

サブミクロン感度でガラス基板上の異物を高速に検査

概要

独自の光学技術採用により高速かつ高感度測定を可能としており、ディスプレイ業界において高いシェアを誇っています。

特長

  • 高速・高感度での異物測定が可能
  • 表裏同時検査が可能
  • レビュー顕微鏡を搭載し、歩留まり向上のための異物観察が可能
  • 膜付き基板の測定も可能

オプション機能

  • Loader/Unloader
  • AGV/MGV
  • CIM
PLP（パネルレベルパッケージ）用異物検査装置 HS-930e

HS仕様表

型式 HS-930e
検出方式 レーザ散乱結像方式
検出感度 標準感度 1.0µm / 高感度 0.3µm (標準粒子散布基板)
対応基板厚み 0.3〜1.1t
検査時間 基板サイズ 標準感度モード 高感度モード
600 × 600 mm 28 sec 31 sec