サステナビリティへの取り組み

近年、世界的に脱炭素化が強く求められる中、半導体製造プロセスが消費する電力の大きさが改めて注目されています。
AIサーバーや車載デバイス、パワー半導体などの需要拡大に伴い、製造ラインでは装置台数の増加と電力負荷の増大が避けられない課題となっています。
INSPECTRA^®シリーズは、世代ごとに大幅なスループット向上を実現し、同一生産量あたりに必要な装置台数の削減に貢献してきました。処理能力の向上により、装置本体の運転電力に加え、周辺設備や補機類を含めた電力使用量を抑制することが可能となり、製造ライン全体としてのCO₂排出量削減に貢献します。
さらに、装置台数の削減は生産スペースの最適化にも寄与します。電力消費の大きいクリーンルーム占有面積を抑えることで、エネルギー効率の向上と持続可能な製造ライン構築を両立します。これらの効果は、装置単位だけでなく、ウェーハ一枚当たりに換算したCO₂排出量の低減としても現れ、生産性向上と環境負荷低減を同時に実現するアプローチとなっています。
当社は今後も、装置の高性能化と環境負荷低減の両立を図り、持続可能なものづくりに貢献してまいります。