沿革

  INSPECTRA NGR
1990年 東レ株式会社にて⽶国シリコンバレーのベンチャー企業より、半導体向け外観検査装置インスペクトラを技術導⼊しプロジェクト発 ⾜。  
1991年 セミコンJAPANに装置を初出展。同年HDD⽤ 磁気ヘッド検査装置として5000シリーズの初号機を出荷。  
1993年 装置のコンセプトを⾒直し、抜き取り検査⽤途から全数検査⽤途へ切り替えて、市場参⼊。同時に、国産化を実施して1000シリーズを出荷。  
2000年 機器事業の統合のために、東レ株式会社より東レエンジニアリング株式会社に事業を移管。 会社設⽴（設⽴時の社名は、株式会社ナノジオメトリ研究所）。
2002年 1000SX-Ⅲシリーズと⽐較して5倍速の1000EXシリーズを出荷。  
2005年 1000EX-Ⅱシリーズを出荷。 NGR2100初号機を出荷。
2007年 最終外観検査から本格的に前⼯程へ進出するために7000Rシリーズを出荷。  
2009年   韓国に拠点開設（現 TASMIT Korea, Inc.）。
2010年 7000Rシリーズと⽐較して1.5倍速の7000SRシリーズを出荷。 社名を、株式会社ＮＧＲに変更。
2011年 蛍光検査機能付きインスペクトラPLシリーズを出荷。 台湾に拠点開設（現 TASMIT, Inc. Taiwan Branch）。
2013年 ウェーハ重ね合わせ測定としてOM-7000シリーズを出荷。 NGR3510初号機を出荷。
2014年   東レエンジニアリング株式会社と資本・業務提携。
2015年 蛍光検査機能付きインスペクトラPLシリーズ、⾚外光でのウェーハ内部検査⽤途インスペクトラIRシリーズを出荷。  
2017年   東レエンジニアリング株式会社の⼦会社となる。
2019年 7000SRと⽐較して4倍速の最新モデルSR-Ⅲを出荷。  

2019年 株式会社ＮＧＲが東レエンジニアリング株式会社の半導体向け検査機器事業（商品名：INSPECTRA）を会社分割により承継。同時に社名を、TASMIT株式会社に変更。
2022年 社名を、東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー株式会社に変更（英文名称はTASMIT, Inc.のまま変更なし）。

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