ロールtoロールスパッタ装置
独自成膜プロセスを用い、低温・低ダメージ成膜を高レートで実現したロールtoロールスパッタ装置
電極引き出し時
メンテ作業時
スパッタ量産装置
長州産業（株）とのアライアンス構築により、ミラートロンスパッタ方式による高品質な膜が得られます。
【用途】
タッチパネル、透明導電膜、バリア、ハードコート、反射防止、高機能フィルム
＜成膜方式による比較（例：透明導電膜＜ITO＞膜）＞
| 方式 | ミラートロンスパッタ | 一般スパッタ |
|---|---|---|
| 比抵抗 | 3.0×10-4Ω・cm以下 | 3.8×10-4Ω・cm以下 |
| シート抵抗（アニール有） | 100Ω/□ at 30nm厚 | 100Ω/□ at 40nm厚 |
| ターゲット利用効率 | 約70% | 約20% |
| 生産量 | 約170万㎡/年(2電極時) |
＜装置仕様(例)＞
| 量産装置 | |
|---|---|
| フィルム種類 | Film：PET、PEN、PC 他 |
| 膜 種 | ITO、IZO、SiOx、SiNx、AlxOx、Al、Cu、Ag、Mo 他 |
| 基材ロールサイズ | ロール幅（W）：1.4m、ロール径：Φ500mm |
| 搬送速度 | ～ 10m/min |
| 装置構成 | ロール用チャンバ ： ２（巻取、巻出別） 成膜用チャンバ(*) ：１、 カソードユニット ： ２～４ 脱ガス（オプション）、表面改質処理（オプション） |
お問い合わせ先
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