「半導体・オブ・ザ・イヤー2022」製造装置部門グランプリを受賞
～半導体回路検査で世界最高水準の速度と精度を実現した
電子線式半導体ウェーハパターン検査装置NGR^®5500」～

　当社が2022年4月に本格販売を開始した電子線式半導体ウェーハパターン検査装置「NGR^®5500」が、このたび電子デバイス産業新聞主催の「第28回半導体・オブ・ザ・イヤー2022」製造装置部門においてグランプリを受賞しました。

　同賞は、開発の斬新性、量産体制の構築、社会に与えたインパクト、将来性などを基準に選定されます。「NGR^®5500」は、世界で初めて50㎸まで電圧を高めた電子顕微鏡を搭載するなど、当社の最先端の取り組みが高く評価され、今回の受賞となりました。
詳細については「産業タイムズ社 半導体・オブ・ザ・イヤー2022」をご覧ください。