TSコータ（TORAY Slit-nozzle Coater）TSCoater（TORAY Slit-nozzle Coater）
FPD用カラーフィルター分野で70％の圧倒的なシェアを誇る高精度枚葉塗布装置
当社TSコータは国内外において、液晶パネルのカラーフィルタやTFTアレイ製造工程で、幅広くご使用いただいております。
＜特長＞
- 自社開発したスリットノズルは薄膜かつ高精度塗布を実現
- 高い応答性と定量性を有する当社独自の高精度シールレスポンプを採用
- 高精度ステージを採用により高品質塗布を実現
- 低重心、高剛性のガントリを採用することにより速度ムラを低減
- カラーフィルタ（CF）製造技術の中で最も困難なCOAプロセスにも適用
- G11基板まで対応可能な塗布評価設備を有し、お客様ニーズに対応
- メンテナンス性に優れ、アフターサービスも充実
＜用途＞
| ディスプレイ分野 | TFT・CF基板など |
| その他分野 | PV、建材など |
＜装置ラインナップ＞
浮上タイプ
ガントリータイプ
ステージ移動タイプ
＜スリット塗布装置_仕様＞
| 対応基板サイズ | 300ｍｍ×400ｍｍ～2,940mm×3,370mm |
|---|---|
| 塗布材料 | 樹脂BM,RGB,OC,PS,MVA,Posiレジスト,その他PR |
| 塗布精度 | ±3%以内 |
| 塗布方法 | 非回転式スリットノズルによる塗布 |
| タクトタイム(参考値) | 30sec |
| オプション | 自動ジョブチェンジ、衝突検知機能、基板厚み0.3t対応 |