FPD用異物検査装置 HS-930e

サブミクロン感度でガラス基板上の異物を高速に検査

概要

当社独自の光学技術採用により検査速度約30％Up(当社HS-930比)を実現
薄物基板への表裏判定能力を大幅に向上させました

特長

  • 高速・高感度での異物測定が可能
    Ex. 114sec (G6 Glass, Standard Sensitivity Mode)
  • 従来の検査原理に新開発の表裏判定光学系を組み合わせ、HS-930を超える表裏判定能力を実現
    Ex. Over 1 : 70 (t = 0.3mm)
  • レビュー顕微鏡を搭載し、歩留まり向上のための異物観察可能
  • G2～G10.5サイズ対応

オプション機能

  • Loader/Unloader
  • AGV/MGV
  • CIM
  • 表裏同時検査機能
  • 異物マップ比較機能
FPD用異物検査装置 HS-930e

HS仕様表

型式 HS-930
検出方式 レーザ散乱結像方式
検出感度 標準感度 1.0µm / 高感度 0.3µm (標準粒子散布基板)
空間分解能 30µm
検査時間 基板サイズ 標準感度(1.0µm)モード 高感度(0.3µm)モード
730 × 920 mm 43sec 53sec
1500 x 1850mm 114sec 141sec
2200 x 2500mm 195sec 241sec
2940 x 3370mm 333sec 410sec*1
表裏判定能力 1:70以上 (t=0.3mm)

*1 当社0.3µm標準粒子散布で