高精度金属膜加工レーザーパターニング装置High Accuracy Laser Patterning Equipment for Thin Metal film

ITOなど透明電極膜、Cu,ALなど金属薄膜へのアライメントマーク、絶縁パターン加工が可能です。
当社独自のアライメント、パターニング技術により高い位置精度加工（±15um＠G6）を実現しました。