電材関連プラント

事例紹介

1．液晶関連成膜材料製造設備

• クリーンルーム内設備、機器内外面の清浄性が重要なプラント
• 配管内・機器内の接液部は、特殊洗浄でコンタミ防止

2．半導体絶縁材料製造設備

• コンパクトな合成・蒸留等プラント
• 接液部は厳格な禁水性、特殊洗浄を実施

3．その他　実績

• 液晶関連粘着剤製造設備
• 半導体研磨材製造設備
• 半導体関連材料製造設備
• 半導体洗浄剤製造設備
• 高機能性微粒子製造設備