キャピラリーコータCapillary Coater for round substrate

円形基板用キャピラリーコータ

<概要>

スリットノズルを使った塗布技術で丸いウェーハだけでなく、瓢箪状、長尺状など異形状に対する塗布も対応可能。塗布の必要なところのみ塗布(エッジリンスとバックリンス不要)することができ、高価な液を無駄にすることなく、材料使用効率最大80%以上を実現。特にスピンコータが苦手とする高粘度塗布は非常にきれいに塗布できます。

<特徴>

  1. スリットノズルを使用し、円形基板表面に液をはみ出すことなく塗布が可能。
    ※エッジリンス、バックリンス不要。
  2. 材料利用効率最大80%以上を実現。
    ※液にもよるが、5倍以上の使用効率が期待出来る。
  3. 低粘度(1mPa・s)から高粘度(15,000mPa・s)まで幅広い粘度に対応可能。
  4. 4インチ~12インチウェーハまで対応可能。

<塗布動作>

<キャピラリーコータ>

ウェーハサイズ 4 inch ~ Max 12 inch(φ300mm)
粘度 1 ~ 15,000mPa・s
膜厚(Dry) Dry 0.1~100μm
膜厚精度 ±3%以下(端部2mm除外時)
材料使用効率 80%以上

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技術 >> 塗布・塗工 > キャピラリーコータ(ウェーハ、異形状塗布)
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