マイクロ/ミニLED用マストランスファーボンダー　MTシリーズ

特長

• ムービングサーチ、高剛性フレームにより高精度（±1.5µm）を実現。
• 独自のセラミックヒーター、圧力・位置制御方式によって、多彩な温度・圧力・高さのプロファイルが可能。
• 独自のヘッドギャップコントロール機能により、最適なギャップを実現。
• ヘッドを交換することにより低圧から高圧領域まで対応可能。