半導体検査・計測装置事業に関する新会社設立についての発表

東レエンジニアリング株式会社（本社：東京都中央区、代表取締役社長：岩出　卓、以下東レエンジニアリング）は、半導体検査装置事業を会社分割し、子会社である株式会社NGR（本社：神奈川県横浜市、代表取締役社長：堺澤秀行、以下NGR）が継承します。NGRはこれを機に会社名をTASMIT株式会社に変更し、東レエンジニアリンググループの半導体検査・計測装置事業を担う会社としてスタートします。

東レエンジニアリングとNGRの半導体検査・計測装置事業について

東レエンジニアリングは、後工程向けウエーハ外観検査装置「INSPECTRA」（インスペクトラ）シリーズを1990年から事業化し、これまでに累計400台の出荷実績があります。特に300mmウエーハを3μm感度で時間当たり100枚の検査が可能なことから、全数・全面検査が求められる車載用半導体分野で高いシェアを誇ります。

NGRは2000年に設立、2014年に東レエンジニアリングと資本・業務提携を締結し、2017年に東レエンジニアリングの子会社となりました。主力製品の半導体ウエーハパターン検査装置「NGR3500」シリーズは、Die to Databaseアルゴリズムをベースとし、広視野電子顕微鏡画像を利用することでパターン欠陥の高感度検査、パターン寸法の2次元多点計測を実現しました。これまでにR&Dラインで累計30台の稼働実績があり、今後は量産ラインへの導入が期待されます。

今後について

今回の半導体検査・計測装置事業の再編により、部品の共通化によるコストダウン、ソフトウエア開発の一元化による開発スピードアップ、販売代理店の統合や営業リソースの効率化を進めます。
2019年度の売り上げ見込みは、「INSPECTRA]シリーズ及び「NGR3500」シリーズを合わせ約90億円ですが、今後は再編によるシナジー効果や新規分野への市場開拓を進め2021年度には100億円規模を目指します。