酸素濃度計半導体・液晶・電子部品関連用途 Oxygen Analyzer for Semiconductors, Electronic Components

MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

酸素濃度計 MS-500

MS-500

  • 最大8ポイントを同時測定が可能
  • ppmレベルから100%の幅広い濃度表示が出来ます。
  • 半導体製造装置、真空装置等への搭載に最適
  • センサは直挿式(真空用NWフランジ16/25/40)
  • 高耐久のセンサに特殊コーティングを施し、さらに耐久性を向上

MS-500 機器仕様

測定原理 ジルコニア濃淡電池式
形状 分離型(変換器:壁掛式、センサ:直挿式)
表示方式 デジタル4桁表示(濃度表示)
測定レンジ 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0atm
自動レンジ
繰返性 ±0.5%FS以内 0-1%レンジ以上
±1%FS以内または±0.1ppmの大きい方 0-1%レンジ未満
0-1ppm,atmレンジは濃度保証範囲外
測定点数 1~8
サンプルガス条件 圧力 10-3~200KPa(絶対圧)
流量 0.5~5,000mL/minまたは0mL/min(自然拡散状態の測定)
湿度 露点が周囲温度以下
温度 0~100℃
その他 腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有機シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと
比較ガス 大気
記録計出力 伝送出力のみ
伝送出力 RS-232C
警報出力 なし
ウォームアップ時間 6分以内
寸法 MS-500(コントローラ) 92(W)×44(H)×120(D) (突起部含まず)
MS-510(変換機) 100(W)×40(H)×88(D) (突起部含まず)
センサユニット SD16NW 全長100mm(センシング部Φ11×39,胴体部Φ40×51)
SD25NW 全長100mm(センシング部Φ11×42,胴体部Φ40×48)
SD40NW 全長100mm(センシング部Φ11×41,胴体部Φ40×49)
質量 MS-500(コントローラ) 約0.6Kg
MS-510(変換器) 約0.5kg
センサユニット SD16NW 約0.2Kg
SD25NW 約0.2Kg
SD40NW 約0.35Kg
外部接続 真空フランジ(NW16,25,40)のいずれか
使用電源 24VDC±10%

酸素濃度計 LC-450A、LC-450D

LC-450A、LC-450D

  • 幅広い濃度域での測定
    ppmレベルから100%の幅広い濃度表示が出来ます。
  • センサの耐久性を向上
    酸素センサに特殊加工を施し耐久性が向上しました。
  • ACワイド電源 AC100~240VAC(LC-450A)
    ※LC-450DはDC24V駆動
  • コンパクトで設置が容易
    当社従来機種より奥行きがさらに短くなり、場所をとりません。
  • RoHS指令対応品
  • CEマーキング自己宣言品
    EN61010-1:2002,EN61326:+A3:2003

LC-450A 機器仕様

測定原理 ジルコニア濃淡電池式
形状 卓上型/パネル取り付け型
表示方式 デジタル4桁表示(濃度表示)
測定レンジ 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0atm  自動レンジ
繰返性 ±1%FS以内 0-1ppm,atmレンジは濃度保証範囲外
サンプリング方式 内蔵ポンプによる連続吸引式
サンプルガス条件 圧力 30KPa以下の加圧
流量 1,000~2,000mL/min
湿度 露点が周囲温度以下
温度 0~50℃
その他 腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有機シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと
比較ガス 大気
記録計
出力
酸素濃度出力 4-20mAまたは0-20mAの切り替え(オプションで0-10V) 絶縁、負荷抵抗550Ω以下
記録計出力レンジをフルスケールとし、酸素濃度にリニアな出力
出力レンジ 0-100%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm 自動/固定レンジ
伝送出力 RS-232C
警報出力 FAIL(装置異常) 1点 無電圧接点、接点容量 30VDC/AC以下、0.5A以下
装置異常発生で接点閉(接点動作変更可能)
ALM(濃度警報) 2点(H/L) 無電圧接点、接点容量 30VDC/AC以下、0.5A以下
警報発生で接点閉(接点動作変更可能)
RDY(暖機信号) 1点 無電圧接点、接点容量 30VDC/AC以下、0.5A以下
  • 無電圧接点の開閉容量の最小値は12V以上で、微小負荷対応は不可
MRK(レンジマーカ)出力 2点 無電圧接点、接点容量 30VDC/AC以下、0.5A以下
ウォームアップ時間 5分以内
寸法 本体 210(W)×134(H)×300(D)mm (突起部含まず)
質量 約6kg
ガス
接続口
INLET Rc1/4
BYPASS OUT Rc1/4
OUTLET Rc1/4
使用電源 100~240VAC、50VA(定常時:35VA) 50Hz/60Hz

LC-450D 機器仕様

測定原理 ジルコニア濃淡電池式
形状 卓上型/パネル取り付け型
表示方式 デジタル4桁表示(濃度表示)
測定レンジ 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0atm  自動レンジ
繰返性 ±1%FS以内 0-1ppm,atmレンジは濃度保証範囲外
サンプリング方式 内蔵ポンプによる連続吸引式
サンプルガス条件 圧力 30KPa以下の加圧
流量 1,000~2,000mL/min
湿度 露点が周囲温度以下
温度 0~50℃
その他 腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有機シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと
比較ガス 大気
記録計
出力
酸素濃度出力 0-10VDC、絶縁、負荷抵抗600kΩ以上
(オプション:4-20mADC、絶縁、負荷抵抗550Ω以下)
記録計出力レンジをフルスケールとし、酸素濃度にリニアな出力
出力レンジ 0-100%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm 自動/固定レンジ
伝送出力 RS-232C
警報出力 FAIL(装置異常) 1点 無電圧接点、接点容量 30VDC/AC以下、0.5A以下
装置異常発生で接点閉(接点動作変更可能)
ALM(濃度警報) 2点(L/LL) 無電圧接点、接点容量 30VDC/AC以下、0.5A以下
警報発生で接点閉(接点動作変更可能)
RDY(暖機信号) 1点 無電圧接点、接点容量 30VDC/AC以下、0.5A以下
暖機動作中接点閉(接点動作変更可能)
  • 無電圧接点の開閉容量の最小値は12Vまたは20mA以上で、微小負荷対応は不可
MRK(レンジマーカ)出力 2点 無電圧接点、接点容量 30VDC/AC以下、0.5A以下
ウォームアップ時間 5分以内
寸法 本体 240(W)×134(H)×210(D)mm (突起部含まず)
質量 約5kg
ガス
接続口
INLET Rc1/8
BYPASS OUT Rc1/8
OUTLET Rc1/8
使用電源 24VDC±10%、1.25A(30VA、定常時)

酸素濃度計 LC-860

LC-860

  • 低濃度測定
    ppbレベルから100%まで測定可能
  • 簡単操作
    機能別キーにより操作が簡単
  • パージ機能
    比較ガスを更に安定させ、より精密な測定が可能(パージ機能付仕様のみ)
  • 高信頼性センサ
    センサ内部に劣化防止加工も可能(オプション)

LC-860 機器仕様

測定原理 ジルコニア濃淡電池式
形状 卓上型/パネル取り付け型
表示方式 デジタル6桁表示(濃度表示)
測定レンジ 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0atm
自動/固定レンジ
繰返性 ±1%FS以内
1ppm未満の酸素濃度及び0-1ppm,atmレンジは濃度保証範囲外
サンプリング方式 内蔵ポンプによる連続吸引式
サンプルガス条件 圧力 30KPa以下の加圧
流量 ~1,500mL/min
湿度 露点が周囲温度以下
温度 0~50℃
その他 腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有機シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと
比較ガス 大気
記録計
出力
酸素濃度出力 4-20mA/0-10V
4-20mA:絶縁、負荷抵抗600Ω以下
0-10V:絶縁、負荷抵抗500Ω以上
記録計出力レンジをフルスケールとし、酸素濃度にリニアな出力
出力レンジ 0-100%、0-10%、0-1%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm、0-1ppm、10-20-10-0 または任意4レンジの自動/固定レンジ
伝送出力 RS-232C
警報出力 FAIL(装置異常) 1点 無電圧接点、接点容量 24VDC/AC以下、0.1A以下
装置異常発生で接点閉(接点動作変更可能)
ALM(濃度警報) 2点 無電圧接点、接点容量 24VDC/AC以下、0.1A以下
警報発生で接点閉(接点動作変更可能)
RDY(暖機信号) 1点 無電圧接点、接点容量 24VDC/AC以下、0.5A以下
暖機動作中接点閉(接点動作変更可能)
  • 無電圧接点の開閉容量の最小値は12V以上で、微小負荷は対応不可
MRK(レンジマーカ)出力 3点 無電圧接点、接点容量 24VDC/AC以下、0.1A以下
ウォームアップ時間 20分以内
寸法 本体 288(W)×144(H)×400(D)mm (突起部含まず)
質量 約10kg
ガス
接続口
INLET Rc1/8
BYPASS OUT Rc1/8
OUTLET Rc1/4
使用電源 100~120VAC±10% 200VA 50Hz/60Hz

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