酸素濃度計測定原理・機種選定・保守拠点 Measurement Principles / Maintenance Sites / Model Selection

測定原理・機種選定・保守拠点

ジルコニア式酸素濃度計測定原理

両面に電極加工したジルコニアセラミックには、高温下において、一方の電極部で酸素分子をイオン化し、他方の電極部で酸素イオンを酸素分子に戻す性質を持っています。この性質をイオン電導といいますが、イオン電導の度合は、ジルコニアセラミックの両側にある酸素濃度の差が大きい程、大きくなります。この間、両電極間で電子の受け渡しが行われ、イオン電導の度合い(=ジルコニアセラミックの両側の酸素濃度の差)は、両電極間の起電力の大きさとして取り出すことが出来ます。 この起電力は下図のように、ネルンストの理論式に従った安定した数値を得られるため、東レ・ジルコニアセンサは安定した信頼できる酸素濃度値を示すことが出来ます。

ジルコニア式酸素濃度計使用上の一般的な留意事項

ジルコニア式酸素濃度計は、約700℃の高温下で動作します。よって以下の状況下では測定不可及びセンサ寿命に影響を及ぼす可能性があります。
  • 酸素濃度計内部に電気炉を持つため、設置雰囲気が防爆地域ではご使用頂けません。
  • 可燃性ガス(例:水素、メタン、アルコール、一酸化炭素等)が酸素計内部に混入すると、燃焼反応を起こし測定誤差となります。
  • 有機性シリカ(シーリング材等に使用)はセンサ劣化を起こします。(センサ劣化を引き起こす原因として、非常に多い原因の一つです。
  • ハロゲン系(特に塩素)は、センサ不良を引き起こします。
  • 一酸化炭素のように熱カロリーの高い物質が断続的に混入すると、熱履歴を受けセンサ不良を引き起こします。
  • Nox,Sox等の腐食性ガスが多量に混入するとセンサ不良を起こします。
  • フレオンガスは高温下で分離反応を起こしセンサ劣化を起こす可能性があります。
  • 水滴、ダスト、ミストは、センサの破損・短寿命及び誤差の原因となります。これらを含むガスを測定する場合は予め除去した上で酸素濃度計に流すようにして下さい。除去方法については、購入前に御相談ください。

機種選定チャート

機種選定にお困りの方は下記表をご参照ください。

用途 対応機種 説明 その他オプション
半導体・液晶・
電子部品
MS-500 半導体製造装置等搭載用、最大8ポイントまで測定可能  
LC-450A ppmオーダの測定に対応、AC電源タイプ
  • 活性炭フィルタ
  • Siフィルタ
  • 綿フィルタ
LC-450D ppmオーダの測定に対応、DC電源タイプ
LC-860 ppbオーダの測定に対応、AC電源タイプ
SD/LD-450 真空チャンバー取付タイプ(装置組み込み用) AC電源ユニット:DU-450
焼成炉・
N2リフロー・
排ガス
RF-400 酸素センサー保護機能付き焼成炉・リフロー用途専用機
  • 活性炭フィルタ
  • Siフィルタ
  • 綿フィルタ
LC-750H/PC-111 中・高濃度ダーティーガス用、ガス吸引ポンプ内蔵型
ガスプラント・
空気分離
LC-750H 中・高濃度汎用タイプ
LC-750H/PC-110 中・高濃度クリーンガス用、ガス吸引ポンプ内蔵型
LC-750L 低濃度汎用タイプ
LC-750L/PC-120 低濃度クリーンガス用、ガス吸引ポンプ内蔵型
真空蒸着・
密封炉・
グローブボックス
SD/LD-450 センサー/変換器分離型、薄型壁掛式変換器 AC電源ユニット:DU-450
食品包装 LC-450F ガス充填後抜き取り検査(サンプリングプローブ)用
  • 活性炭注入口
  • ヘッドスペースサンプラー
LC-750F ガス充填後抜き取り検査(シリンジ)用
LF-200 ガス充填自動包装機組み込み用
  • 活性炭フィルタ
  • 綿フィルタ

酸素濃度計保守拠点

当社酸素濃度計の国内外保守拠点は下記の通りです。

  • 日本
    東レエンジニアリングDソリューションズ株式会社 TEL:077-544-1621
    滋賀県大津市大江1-1-45
  • Korea
    PnK system Inc. TEL 031-376-8531
    #708, 878, Dongtansunhwan-daero, Hwaseong-si, Gyeonggi-do, 18469, Republic of Korea
  • China
    Shanghai TEK Technology & Consulting Co., Ltd. TEL:+ 86-21-5241-7700
    Room01 36th Floor,Zhao Feng Plaza, 1027 Chang Ning Road Chang Ning Area, Shanghai 200050, China
  • Taiwan
    Thales System Co.,Ltd. TEL:+886-3-657-2270
    1F.,No.81,S.Sec.,Xianzheng 2nd Rd., Zhubei City,Hsinchu County 302,Taiwan (R.O.C.)

    Environmental Technology Company TEL:+886-7-312-2698
    16F.,No.255-2,Jiouru 2nd Rd.,Sanmin Dist.,Kaohsiung City 807,Taiwan

    EQP Series Co.,Ltd. TEL:+886-2-2601-3667
    No.3 Lane 6 Ren-ai Rd Sec.2 Linkou Township,Taipei County 224, Taiwan
  • Philippines
    RCLL Trading Corp. TEL+63-2-533-5565
    No.28 San Roque Street, Mandaluyong City, Philippines
  • Thailand
    Citigas Co., Ltd. TEL:+66-2-920-8990
    189/194 Moo. 5 Soi Liabklongbangpai, Junthongeiam Rd., T. Bangrakpattana
    A. Bangbuathong, Nonthaburi 11110, Thailand
  • India
    S.V. SCIENTIFIC TEL+91-80-2356-7255
    No. 23/A, 2nd Floor, Serpentine Road, Kumara Park West,Bangalore 560-020, India
  • Indonesia
    PT.REXINDO OTOTEKNIK TEL+62-21-8273-5509
    Jl. Jambu 4, No.65 A RT. 02/08, Kel. Jatimulya Kec. Tambun Selatan Bekasi 17510
  • U.S.A.
    RKI Instruments Inc. TEL:+1-510-441-5656
    33248 Central Avenue Union City, CA USA
  • U.K.
    Weatherall Equipment & Instruments Ltd TEL +44 (0)1296 622 180 Unit 1 Station Approach Wendover Bucks. HP22 6BN England

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