ムラ検査装置 NMシリーズMura Checker for FPD NM Series
液晶パネル用カラーフィルター（CF）の塗布ムラを高速・高精度に検出測定
ムラカメラ&照明
ムラ透過反射切り分け
ムラ機器構成
ムラ検査結果
＜特徴＞
東レが長期に渡り蓄積した技術的なノウハウに基づく
1.東レ製コータのムラに特化した高い検出性能
2.高い信頼性（主な駆動部はコンベアのみ）
3.速い検査速度（東レ製コータと同じタクトタイム）
Red膜は、昨今の高彩度レジスト使用により、透過検査では十分なコントラスト差が得られません。そのため当社では反射方式により検査を行っています。
＜メリット＞
1.CFの歩留まりを向上
2.スタートロスを削減
3.不良品の流出を防止
＜NM仕様表＞
| 型式 | NM610 |
|---|---|
| 対応基板サイズ | カメラ台数によりG10まで対応可能 |
| 検査対象 | パターン上の樹脂BM,R,G,B,OC,PS(CS) 透明膜のパターニング前基板 |
| 検査システム | モノクロCCDカメラ ＋ LCD光源 |
| 検出可能な色むら | TSコータ起因の色むら 縦スジ、横ダン、縦むら、横むら、白ピン、白ボケ、その他むら |
| タクトタイム(参考値) | 35sec/G8(基板入替時間含む) |
| 検査速度 | 300mm/sec |
| 装置サイズ | 6000(W) × 3200(D) × 2500(H)/G8 |
| 装置重量 | 約5000kg |
| 用役 | AC220V ±10%, 圧空, 排気 |
- 関連用語
- 塗布ムラ
- ムラ検査
- スジムラ
- ピンムラ
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