高粘度用スリットコータSlit-nozzle Coater for High Viscosity Liquids

当社高粘度液用スリットコータは、これまで液晶CF向けに開発、蓄積してきたスリットノズル・高精度吐出ポンプ・高精度ステージ・減圧乾燥などの要素技術をベースに、高粘度液塗布用に最適化したコータです。

＜特長＞

独自の流体解析・低圧損設計による高性能スリットノズルを搭載し、当社オリジナルの高精度吐出ポンプと精密塗布制御により、高い膜厚精度と生産性を実現。
ポリイミド液、ＵＶ硬化性樹脂、接着剤、各種機能性材料など、幅広い分野における高粘度液の塗布に最適。

＜用途＞

ディスプレイ分野	OLED、タッチパネルなど
半導体分野	FOPLPなど
電子基板分野	各種インターポーザーなど
その他分野	PV、建材など