ストライプコータStripe coater
大面積かつ高精度のストライプ塗布ノズルを搭載
高精度スリットノズルの技術ノウハウを結集し、大面積かつ高精度のストライプ塗布ノズルを搭載したコータです。
<特長>
当社、超精密加工技術を結集したストライプ塗布用ノズルは、各ノズル孔からの吐出量ばらつきが非常に少なく、最小50umのストライプ状の超微細線を、薄膜かつ高精度に間欠塗布することが可能。
また、このストライプ塗布ノズルを使用した塗り分け塗布により、フォトリソ工程と比較して、工程及び塗布材料の大幅な削減を実現。
<用途>
ディスプレイ分野 OLED:発光層(EML),正孔注入層(HIL),正孔輸送層(HTL) など
<ストライプ塗布装置_仕様>
ガラスサイズ | G8.5(2200mm×2500mm)まで対応可能 |
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ストライプノズル先端幅 | Min 50μm (塗布材料による) |
ストライプノズルピッチ | Min 150μm (塗布材料による) |
液粘度 | 1~100cP |
膜厚(ドライ) | 10nm~2,000nm (塗布材料による) |
膜厚精度 | ±5%以下 |
除外領域 | 2mm以下 |
材料利用効率 | 95%以上 |
お問い合わせ先
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滋 賀: 077-544-1892