VE6500VE6500

大型基板用真空印刷装置

VE6500

<概要>

真空技術を使用したユニークな印刷装置。
ボイドレス・低応力での塗布が可能なため、さまざまな分野で信頼性の高いデバイス製造に寄与します。またマスク印刷方式のため、品種替えのコストダウン・時間短縮も実現します。
アスペクト比の高い有底ビアへのボイドレス充填・穴埋めを可能にした装置。
大型パネルのFOWLP(ファンアウトウエーハレベルパッケージ)への適用。

<特徴>

大面積での真空印刷が可能。
特殊チャンバー構造により、高生産性を実現。
ボイドレス、フラット印刷が可能。
画像処理による高精度印刷を実現。

<オプション>

CCDカメラモニター、ローダー/アンローダー、防音カバーなど

<VE6500仕様>

対象パッケージ PCB
印刷可能範囲 510W × 610L 【mm】
アライメント精度 ±20μm
装置寸法 Approx. 4,345W × 3,840D × 2,500H 【mm】
重量 Approx. 7,200 【kg】
電源 3-phase AC220±10V、50Hz/60Hz±1Hz
  • 関連用語
    • 真空
    • 印刷
    • 封止
    • LED
    • 多層基板
    • 穴埋め
    • ボイドレス

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技術分野
技術 >> 封止・接合・フリップチップ > 真空印刷封止装置
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業界 >> 半導体 > 真空印刷封止装置