FPD用異物検査装置 HS-930eParticle Inspection System for FPD.
サブミクロン感度でガラス基板上の異物を高速に検査
異物検査装置
＜概要＞
当社独自の光学技術採用により検査速度約30％Up(当社HS-930比)を実現
薄物基板への表裏判定能力を大幅に向上させました
＜特徴＞
•高速・高感度での異物測定が可能
Ex. 114sec (G6 Glass, Standard Sensitivity Mode)
•従来の検査原理に新開発の表裏判定光学系を組み合わせ、HS-930を超える表裏判定能力を実現
Ex. Over 1 : 70 (t = 0.3mm)
•レビュー顕微鏡を搭載し、歩留まり向上のための異物観察可能
•G2～G10.5サイズ対応
＜オプション機能＞
・Loader/Unloader
・AGV/MGV
・CIM
・表裏同時検査機能
・異物マップ比較機能
＜HS仕様表＞
| 型式 | HS-930 | ||
|---|---|---|---|
| 検出方式 | レーザ散乱結像方式 | ||
| 検出感度 | 標準感度 1.0µm / 高感度 0.3µm (標準粒子散布基板) | ||
| 空間分解能 | 30µm | ||
| 検査時間 | 基板サイズ | 標準感度(1.0µm)モード | 高感度(0.3µm)モード |
| 730 × 920 mm | 43sec | 53sec | |
| 1500 x 1850mm | 114sec | 141sec | |
| 2200 x 2500mm | 195sec | 241sec | |
| 2940 x 3370mm | 333sec | 410sec*1 | |
| 表裏判定能力 | 1:70以上 (t=0.3mm) | ||
*1 当社0.3µm標準粒子散布で