FPD用異物検査装置 HS-930Particle Inspection System for FPD.

サブミクロン感度でガラス基板上の異物を高速に検査

異物検査装置

<概要>

当社独自の光学技術採用により検査速度約30%Up(当社HS-830比)を実現
薄物基板への表裏判定能力を大幅に向上させました

<特徴>

•高速・高感度での異物測定が可能
  Ex. 114sec (G6 Glass, Standard Sensitivity Mode)
•従来の検査原理に新開発の表裏判定光学系を組み合わせ、HS-830を超える表裏判定能力を実現
  Ex. Over 1 : 70 (t = 0.3mm)
•レビュー顕微鏡を搭載し、歩留まり向上のための異物観察可能
•G2~G10.5サイズ対応

<オプション機能>

・Loader/Unloader
・AGV/MVG
・CIM
・表裏同時検査機能
・異物マップ比較機能

<HS仕様表>

型式 HS-930
検出方式 レーザ散乱結像方式
検出感度 標準感度 1.0µm / 高感度 0.3µm (標準粒子散布基板)
空間分解能 30µm
検査時間 基板サイズ 標準感度(1.0µm)モード 高感度(0.3µm)モード
730 × 920 mm 43sec 53sec
1500 x 1850mm 114sec 141sec
2200 x 2500mm 195sec 241sec
2940 x 3370mm 333sec 410sec*1
表裏判定能力 1:70以上 (t=0.3mm)

*1 当社0.3µm標準粒子散布で

HS-830は製造中止。メンテナンスはCS部まで。

  • 関連用語
    • 異物検査
    • ごみ検査
    • パーティクル
    • 表裏分離
    • 高速検査
    • サブブミクロン感度

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技術 >> 画像処理 > FPD関連検査装置
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