真空蒸着・密封炉・グローブボックス関連用途For Vacuum Deposition, Closed Furnaces

SD/LD-450

SD_LD-450_写真

<SD/LD-450>

<特徴>

・設置レイアウトが自由自在 酸素センサと薄型変換器との分離構造により設置場所制約を大幅に軽減しました。
・省スペース 新開発の薄型壁掛式変換器により奥行き寸法の心配を解消しました。
・超高速応答 分離センサで最短応答が実現できます。
・高耐久センサ センサに特殊コーティング加工を施し、高耐久性を実現しました。
・適合規格 CEマーキング EN61010-1、EN61326-1 RoHS指令対応 スパッタリング装置、設備ガス純度管理 工場配管Ar溶接管理、各種実験・試験設備
・センサは真空用NWフランジ(16、25、40)又はネジ込み式(3/8R)に対応しています。ご使用条件に合わせ、選択ください。

<SD_LD-450仕様>

SD_LD-450仕様

機器仕様

測定原理 ジルコニア濃淡電池式
形状 分離型(変換器:壁掛式、センサ:直挿式)
表示方式 デジタル4桁表示(濃度表示)
測定レンジ 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0atm
自動/固定レンジ
繰返性 ±0.5%FS以内 0-1%レンジ以上
±1%FS以内または±1ppmの大きい方 0-1%レンジ未満
0-1ppm,atmレンジは濃度保証範囲外
サンプルガス条件
圧力:10-3~200KPa(絶対圧)
流量:0.5~5,000mL/min または 0mL/min(自然拡散状態の測定)
湿度:露点が周囲温度以下
温度:0~100℃
その他:腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有機シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと
比較ガス 大気
記録計出力 酸素濃度出力:4-20m(伝送出力との選択)
絶縁、負荷抵抗550Ω以下
記録計出力レンジをフルスケールとし、酸素濃度にリニアな出力
出力レンジ:0-100%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm 自動/固定レンジ
伝送出力 RS-232C(アナログ出力との選択)
警報出力 FAIL(装置異常):1点
無電圧接点、接点容量 30VDC/AC以下、0.5A以下
装置異常発生で接点閉(接点動作変更可能)
ALM(濃度警報):4点(HH/H/L/LL)
無電圧接点、接点容量 30VDC/AC以下、0.5A以下
警報発生で接点閉(接点動作変更可能)
RDY(暖機信号):1点
無電圧接点、接点容量 30VDC/AC以下、0.5A以下
※無電圧接点の開閉容量の最小値は12V以上で、微小負荷対応は不可
MRK(レンジマーカ)出力:2点
無電圧接点、接点容量 30VDC/AC以下、0.3A以下
ウォームアップ時間 6分以内
寸法 変換器:185(W)×155(H)×40(D) (突起部含まず)
センサユニット
SD3/8R:全長100mm(センシング部Φ11×37,胴体部Φ40×48.5)
SD16NW:全長100mm(センシング部Φ11×39,胴体部Φ40×51)
SD25NW:全長100mm(センシング部Φ11×42,胴体部Φ40×48)
SD40NW:全長100mm(センシング部Φ11×41,胴体部Φ40×49)
質量 変換器: 約1.2kg  センサユニット: 約0.5kg
外部接続 真空フランジ(NW16,25,40)、R3/8ネジのいずれか
使用電源 24VDC±10%、60VA(定常時:15VA以下) 

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技術分野
技術 >> 計測・分析 > 酸素濃度計
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