ムラ検査装置 NMシリーズMura Checker for FPD NM Series

液晶パネル用カラーフィルター(CF)の塗布ムラを高速・高精度に検出測定

ムラカメラ&照明

ムラ透過反射切り分け

ムラ機器構成

ムラ検査結果

<特徴>

東レが長期に渡り蓄積した技術的なノウハウに基づく
1.東レ製コータのムラに特化した高い検出性能
2.高い信頼性(主な駆動部はコンベアのみ)
3.速い検査速度(東レ製コータと同じタクトタイム)
Red膜は、昨今の高彩度レジスト使用により、透過検査では十分なコントラスト差が得られません。そのため当社では反射方式により検査を行っています。  

<メリット>

1.CFの歩留まりを向上
2.スタートロスを削減
3.不良品の流出を防止

<NM仕様表>

型式 NM610
対応基板サイズ カメラ台数によりG10まで対応可能
検査対象 パターン上の樹脂BM,R,G,B,OC,PS(CS)
透明膜のパターニング前基板
検査システム モノクロCCDカメラ + LCD光源
検出可能な色むら TSコータ起因の色むら
縦スジ、横ダン、縦むら、横むら、白ピン、白ボケ、その他むら
タクトタイム(参考値) 35sec/G8(基板入替時間含む)
検査速度 300mm/sec
装置サイズ 6000(W) × 3200(D) × 2500(H)/G8
装置重量 約5000kg
用役 AC220V ±10%, 圧空, 排気
  • 関連用語
    • 塗布ムラ
    • ムラ検査
    • スジムラ
    • ピンムラ

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技術 >> 画像処理 > FPD関連検査装置
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業界 >> FPD > FPD検査装置