有機外観検査装置 TB100Organic Pattern Inspection System TB100

多層基板の微小欠陥検出/有機残渣検出、透明電極の外観検査を実現

有機外観検査装置TB100

ブラインドビア内の有機残渣

多層基板内の金属配線ピンホール

ITO内のパターン欠陥

<概要>

従来検査が難しかった多層基板の微小欠陥検出、LED製造工程で発生する有機残渣検出、ITOなどの透明電極の外観検査が可能です。

<特徴>

特殊光学システムにより有機物と無機物の区別が可能。
多層基板でも下層の影響を受けずに検査が可能。
ITOなどの透明電極を可視化し外観検査ができます。

<オプション機能>

CCDカメラモニター、ローダー/アンローダー、防音カバーなど

<有機外観検査装置TB100仕様>

検査種類 1.蛍光検査
2.ITO可視化検査
3.白色光検査(従来方式)
対象ワークサイズ 300mm×300mm , t=10mm
画素分解能 0.7μm / 1.4μm
検査方法 ラインカメラによるスキャン方式
スキャン幅 2.8mm (Resolution 0.7μm) / 5.6mm(Resolution 1.4μm)
スキャン速度 21.9mm/s (Resolution 0.7μm) / 43.8mm/s (Resolution 1.4μm)
  • 関連用語
    • 有機物
    • 外観検査

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