周辺露光装置Edge Exposure

液晶パネルの製造工程において周辺部の不要なレジストを除去

液晶パネルの製造工程において周辺部の不要なレジストを除去するための露光を行う装置です。
東レエンジニアリングでは、周辺露光とタイトラーの両方の機能を持った「周辺露光装置付タイトラー」もラインアップしています。

<特長>

  • G11基板まで対応実績あり
  • 基板中央部分の露光も可能
  • スキップ/ステップ露光可能
  • 露光光源にUV-LEDを採用(光源の長寿命化)
  • タイトラー機能を付属した「周辺露光付タイトラー」の提案可能

<用途>

ディスプレイ分野  TFT・CF基板など

<加工例>

<仕様>

対象基板サイズ 300 × 400mm ~ 2940 x 3370mm
ガラス基板厚さ 0.3~1.1mm
タクトタイム 45sec (G6)
周辺露光幅 ~ 70mm
光源 UV-LED またはUV-LAMP
  • 関連用語
    • 周辺露光
    • UV-LED

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