超音波プロキシ乾燥コータシステムUltrasonic proximity-drying coater system

ガラス基板を非接触で浮上搬送させて、塗布からプリベークまでのプロセスを連続枚葉処理

当社が独自に開発した超音波プロシキ乾燥コータシステム(UPDC)は、ガラス基板を浮上搬送させながら非接触でコーティングから乾燥、ベークまで一連のプロセスを連続処理できるシステムです。
従来のロボットハンドや搬送コロを用いた基板ハンドリングで生じるパーティクル・搬送ムラ・静電気等が問題となる材料をお使いのお客様に最適なソリューションを提供します。

<特長>

業界初となる超音波浮上技術を乾燥システムに採用。
ガラス基板をホットプレート上で浮上させた状態での乾燥が可能となるため、基板たわみ防止支持ピンなどによるピンムラが発生しない。

・生産性  高速タクトタイムで生産性を向上
・品質  非接触搬送による乾燥・搬送ムラゼロ化
・コスト  ロボット・真空ポンプレス化
・将来性  超大型基板・超薄型基板の対応が可能

<用途>

ディスプレイ分野  LCD、OLEDなど

<超音波プロキシ乾燥コータシステム 仕様>

対応基板サイズ 730mm×920mm~2,880mm×3,130mm
対応基板厚み 0.3~0.7 (mm)
塗布精度 ±3% (基板幅10mm除外)
  • 関連用語
    • 超音波浮上

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技術 >> 塗布・塗工 > 枚葉塗布装置
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業界 >> FPD > コーター