ストライプコータStripe coater
大面積かつ高精度のストライプ塗布ノズルを搭載
ストライプコータ_G2
ストライプ外略図
ストライプ外略図
高精度スリットノズルの技術ノウハウを結集し、大面積かつ高精度のストライプ塗布ノズルを搭載したコータです。
＜特長＞
当社、超精密加工技術を結集したストライプ塗布用ノズルは、各ノズル孔からの吐出量ばらつきが非常に少なく、最小50umのストライプ状の超微細線を、薄膜かつ高精度に間欠塗布することが可能。
また、このストライプ塗布ノズルを使用した塗り分け塗布により、フォトリソ工程と比較して、工程及び塗布材料の大幅な削減を実現。
＜用途＞
ディスプレイ分野 OLED:発光層(EML),正孔注入層(HIL),正孔輸送層(HTL) など
＜ストライプ塗布装置_仕様＞
| ガラスサイズ | G8.5(2200mm×2500mm)まで対応可能 |
|---|---|
| ストライプノズル先端幅 | Min 50μm (塗布材料による) |
| ストライプノズルピッチ | Min 150μm (塗布材料による) |
| 液粘度 | 1～100cP |
| 膜厚(ドライ) | 10nm～2,000nm (塗布材料による) |
| 膜厚精度 | ±5%以下 |
| 除外領域 | 2mm以下 |
| 材料利用効率 | 95%以上 |