ストライプコータStripe coater

大面積かつ高精度のストライプ塗布ノズルを搭載

ストライプコータ_G2

ストライプ外略図

ストライプ外略図

Coating Museum

高精度スリットノズルの技術ノウハウを結集し、大面積かつ高精度のストライプ塗布ノズルを搭載したコータです。

<特長>

当社、超精密加工技術を結集したストライプ塗布用ノズルは、各ノズル孔からの吐出量ばらつきが非常に少なく、最小50umのストライプ状の超微細線を、薄膜かつ高精度に間欠塗布することが可能。
また、このストライプ塗布ノズルを使用した塗り分け塗布により、フォトリソ工程と比較して、工程及び塗布材料の大幅な削減を実現。

<用途>

ディスプレイ分野 OLED:発光層(EML),正孔注入層(HIL),正孔輸送層(HTL) など

<ストライプ塗布装置_仕様>

ガラスサイズ G8.5(2200mm×2500mm)まで対応可能
ストライプノズル先端幅 Min 50μm (塗布材料による)
ストライプノズルピッチ Min 150μm (塗布材料による)
液粘度 1~100cP
膜厚(ドライ) 10nm~2,000nm (塗布材料による)
膜厚精度 ±5%以下
除外領域 2mm以下
材料利用効率 95%以上

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