TSコータ(TORAY Slit-nozzle Coater)TSCoater(TORAY Slit-nozzle Coater)

FPD用カラーフィルター分野で70%の圧倒的なシェアを誇る高精度枚葉塗布装置

当社TSコータは国内外において、液晶パネルのカラーフィルタやTFTアレイ製造工程で、幅広くご使用いただいております。

<特長>

  • 自社開発したスリットノズルは薄膜かつ高精度塗布を実現
  • 高い応答性と定量性を有する当社独自の高精度シールレスポンプを採用
  • 高精度ステージを採用により高品質塗布を実現
  • 低重心、高剛性のガントリを採用することにより速度ムラを低減
  • カラーフィルタ(CF)製造技術の中で最も困難なCOAプロセスにも適用
  • G11基板まで対応可能な塗布評価設備を有し、お客様ニーズに対応
  • メンテナンス性に優れ、アフターサービスも充実

<用途>

ディスプレイ分野  TFT・CF基板など
その他分野  PV、建材など

<装置ラインナップ>

  • 浮上タイプ
  • ガントリータイプ
  • ステージ移動タイプ

<スリット塗布装置_仕様>

対応基板サイズ 300mm×400mm~2,940mm×3,370mm
塗布材料 樹脂BM,RGB,OC,PS,MVA,Posiレジスト,その他PR
塗布精度 ±3%以内
塗布方法 非回転式スリットノズルによる塗布
タクトタイム(参考値) 30sec
オプション 自動ジョブチェンジ、衝突検知機能、基板厚み0.3t対応

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技術分野
技術 >> 塗布・塗工 > 枚葉塗布装置
業界
業界 >> FPD > コーター