ガラス応力測定装置 KMS-5000
概要
ガラス応力測定装置“KMS-5000”は、ガラス内部の残留応力を非接触で光学的に測定する装置です。
反射方式を採用し、「透過方式では測れない物が測れる」ことを特長にしています。
光弾性現象を利用し、得られる複屈折量から、応力値と方向を測定し、応力分布として表示します。
応用
MEMSやイメージセンサーなど
ガラスをパッケージした後の工程（ウェーハレベルやチップ）でも、非破壊で製品のガラス残留応力を測定することができます。
量産時の不良検出や、ガラス接合の条件出しなどに使用できます
液晶パネルなど
ガラスを貼り合わせた状態で、上面と下面の各ガラスの応力分布が測定できます。
パネル切断時や、開発時のシール条件出しなどに使用できます。
特徴
- 光弾性現象を利用した非接触反射方式
- ガラス内部の微小な残留応力測定 ［0.1〜10 MPa］
- 微小領域の応力測定 ［スポット径：φ50μｍ］
- 複数点を自動測定し応力分布表示 （応力値と応力方向）
- 日本語表示画面で、操作が容易
主な仕様
| モデル | KMS-5000 |
|---|---|
| 測定項目 | ガラス内部応力値と応力方向 |
| 対象サンプル | ガラスなどの透明な等方性物質 |
| サンプルサイズ | 650×650×厚み10mm以内（ガラス厚み含む） |
| ガラス厚み | 0.2〜5 mm |
| 測定原理 | 光弾性(反射方式） |
| 測定レンジ | 0.1〜10 MPa |
| 測定再現性 | CV値 5 %以内 |
| 測定時間 | １点あたり ３秒以下 |
| スポット径 | φ50μｍ |
本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
測定例
封止状態でカバーガラスの応力分布が測定できる
貼りあわせガラス（液晶パネル等）の各応力分布が測定できる
