FPD用異物検査装置 HS-830
概要
異物検査装置“HS-830”は業界初のサブミクロン感度異物検査装置HS-730と同様に、当社独自の光学技術を採用したガラス基板上の異物検査装置で、従来比約1/4の高速検査を実現しています。
特徴
- 高速・好感度検査が可能。例：86 秒（1100mm × 1300mm 基板検査時）
- 従来のレーザ散乱方式に結像検出光学系を組み合わせた新しい検査方式により、高い検出信頼性と空間分解 能を実現。
- 高い空間分解能/レビュー機能
異物の検出位置精度が高いため、従来タイプの検査装置では困難だった高倍率顕微鏡でのレビューが可能 - 総合倍率で最大2000 倍（14 インチモニタ換算時）の高倍率観察が可能なレビュー機能を標準装備。
検出原理
操作画面
仕様
| 型式 | HS-830 |
|---|---|
| 検出方式 | レーザ散乱結像方式 |
| 検出項目 | ガラス、クロム、ITO 基板上の異物の個数・位置・SML クラス分け・異物検出マップ・ヒストグラム |
| 対応基板サイズ＆ 実検査時間 （高速検査モード時： 1μｍ感度） |
400mm × 520mm ： 24sec |
| 600mm × 720mm ： 41sec | |
| 730mm × 920mm ： 55sec | |
| 1100mm × 1300mm ： 86sec | |
| 1600mm × 1800mm ： 144sec | |
| 検査感度 | 0.3μｍ（標準粒子散布基板） |
| 空間分解能 | 30μｍ□ |
| 表裏分離性能 | 20μｍ（t=1.1mm） 16μｍ（t=0.7mm） |
| レビュー機能 | 標準装備 |
オプション
- Loader/Unloader
- AGV/MGV
- CIM
- 表裏同時検査機能
- 異物マップ比較機能
