検査

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異物検査装置“HS-830”は業界初のサブミクロン感度異物検査装置HS-730と同様に、当社独自の光学技術を採用したガラス基板上の異物検査装置で、従来比約1/4の高速検査を実現しています。

光干渉方法を用いて非接触非破壊で半導体、フィルム、光学部品などの３次元微細形状をナノメートルオーダーの高精度で測定でき、透明膜も測定できます。
半導体の項目で詳しく紹介しています。